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Definition - Was bedeutet Nanolithographie?
Die Nanolithographie ist ein Zweig der Nanotechnologie und der Name des Verfahrens zum Drucken, Schreiben oder Ätzen von Mustern auf mikroskopischer Ebene, um unglaublich kleine Strukturen zu erzeugen. Dieser Prozess wird normalerweise zum Erstellen kleinerer und schnellerer elektronischer Geräte wie Mikro- / Nanochips und Prozessoren verwendet. Die Nanolithographie wird hauptsächlich in verschiedenen Technologiebereichen von der Elektronik bis zur Biomedizin eingesetzt.Techopedia erklärt die Nanolithographie
Nanolithographie ist ein weit gefasster Begriff zur Beschreibung verschiedener Prozesse zur Erzeugung nanoskaliger Muster auf verschiedenen Medien, von denen das Halbleitermaterial Silizium das häufigste ist. Der vorherrschende Zweck der Nanolithographie ist das Schrumpfen elektronischer Geräte, wodurch mehr elektronische Teile auf kleinerem Raum untergebracht werden können, dh kleinere integrierte Schaltkreise, die zu kleineren Geräten führen, die schneller und kostengünstiger herzustellen sind, da weniger Materialien erforderlich sind. Dies erhöht auch die Leistung und die Reaktionszeiten, da die Elektronen nur sehr kurze Strecken zurücklegen müssen.
Einige Techniken, die in der Nanolithographie verwendet werden, sind wie folgt:
- Röntgenlithographie - Wird durch einen Näherungsdruck-Ansatz implementiert und stützt sich auf Nahfeld-Röntgenstrahlen bei der Fresnel-Beugung. Es ist bekannt, seine optische Auflösung auf 15 nm zu erweitern.
- Doppelte Strukturierung - Eine Methode zur Erhöhung der Teilungsauflösung eines lithografischen Prozesses durch Drucken zusätzlicher Muster zwischen Abständen bereits gedruckter Muster in derselben Schicht.
- Elektronenstrahl-Direktschreiblithographie (EBDW) - Das in der Lithographie am häufigsten verwendete Verfahren, bei dem ein Elektronenstrahl zur Erzeugung von Mustern verwendet wird.
- Extreme Ultraviolett (EUV) -Lithographie - Eine Form der optischen Lithographie, bei der ultrakurze Lichtwellenlängen von 13, 5 nm verwendet werden.
