Inhaltsverzeichnis:
- Definition - Was bedeutet Mikroelektromechanisches System (MEMS)?
- Techopedia erklärt Mikroelektromechanisches System (MEMS)
Definition - Was bedeutet Mikroelektromechanisches System (MEMS)?
Ein mikroelektromechanisches System (MEMS) ist ein winziges mechanisches Modul, das von Elektrizität angetrieben wird. NEMS verbindet Computer mit mechanischen Modulen wie Sensoren, Aktoren und Spiegeln. Es handelt sich um kostengünstige Systeme, die eine modifizierte Vorrichtungsherstellungstechnologie verwenden.
MEMS sind vielseitig einsetzbar und kommen in einer Vielzahl von Herstellungskonstruktionsansätzen zum Einsatz, wobei verschiedene Komponenten, Miniaturisierung und neue integrierte elektromechanische Standardsysteme zum Einsatz kommen. MEMS können zum Nassätzen wie Kaliumhydroxid (KOA), Trockenätzen wie Tiefenätzen mit reaktiven Ionen (DRIE), Formen und Plattieren, Elektroentladungsmaschinen (EDM) und anderen Technologien, die kleine Bauelemente herstellen, verwendet werden.
Ein mikroelektromechanisches System kann auch als mikroelektronisches System, Mikromaschine, Mikrosystemtechnik oder Smart Materie bezeichnet werden.
Techopedia erklärt Mikroelektromechanisches System (MEMS)
MEMS können kleiner als die Breite eines menschlichen Haares sein und mehrere Komponenten enthalten, wie z.
- Mikrosensoren
- Mikroaktoren
- Mikroprozessoren
- Zentraleinheiten zur Datenverarbeitung
- Komponenten für die Interaktion mit äußeren Elementen
MEMS haben ein großes Verhältnis von Oberfläche zu Volumen und werden unter Verwendung der Siliziumherstellungstechnologie hergestellt.
Eine MEMS-Vorrichtung enthält eine Mikroschaltung, die auf einem kleinen Siliziumchip angeordnet ist, der mit mechanischen Komponenten verwendet wird. Die Technologie unterstützt eine Vielzahl von Geräten, die mechanische Prozesse als Array oder einzeln steuern, erfassen oder aktivieren.
Gegenwärtig umfassen MEMS einen einzelnen unterschiedlichen Mikrosensor oder Mikroakkuator in ihrer Architektur, jedoch können in Zukunft komplexere Assimilationsstufen auftreten. Die nächste Entwicklung könnte darin bestehen, viele einzelne Funktionen in ein System zu integrieren.
