Inhaltsverzeichnis:
- Definition - Was bedeutet Vertical Metal Oxide Semiconductor (VMOS)?
- Techopedia erklärt Vertical Metal Oxide Semiconductor (VMOS)
Definition - Was bedeutet Vertical Metal Oxide Semiconductor (VMOS)?
Ein vertikaler Metalloxidhalbleiter (VMOS) ist ein Typ eines Metalloxidhalbleitertransistors (MOS-Transistor), der aufgrund der V-förmigen Rille, die vertikal in das Substrat geschnitten ist, als Gate des Transistors für die Zuführung von a bezeichnet wird höhere Strommenge von der Quelle in Richtung „Drain“ des Geräts.
Ein vertikaler Metalloxidhalbleiter ist auch als V-Rillen-MOS bekannt.
Techopedia erklärt Vertical Metal Oxide Semiconductor (VMOS)
Ein vertikaler Metalloxidhalbleiter wird aufgebaut, indem vier verschiedene diffundierte Schichten in Silizium gebildet werden und dann eine V-förmige Rille in der Mitte vertikal mit einer genau gesteuerten Tiefe durch die Schichten geätzt wird. Die Gateelektrode wird dann in der V-förmigen Rille gebildet, indem Metall, üblicherweise Galliumnitrid (GaN), über Siliziumdioxid in der Rille abgeschieden wird.
Bis zur Einführung besserer Geometrien wie UMOS oder Trench-Gate-MOS wurde VMOS vor allem als „Stop-Gap“ -Leistungsbauelement eingesetzt. Dabei entsteht oben ein geringeres elektrisches Feld, das dann zu höheren Maximalspannungen führt, als dies mit möglich ist VMOS-Transistoren.
